宏微复合平移台是将标准的测微头与可产生高分辨率位移的压电陶瓷相结合，通过手动调节大范围的测微头实现13mm大范围的位移,测微头的分辨率是10μm，再通过控制驱动电压使压电陶瓷相应伸长或缩短到预定位置，从而实现对压电陶瓷驱动测微头高分辨率的精调节，压电陶瓷行程范围可达20μm,压电陶瓷运动的分辨率可＜1nm，这个压电驱动测微头可以对元件进行大行程、高精度定位。

　　产品特点：

　　压电驱动标称行程为20μm

　　运动方向最大推力20N

　　亚纳米的分辨率

　　可配套13mm行程的手动平移台

　　平移台的最大承载能力1.5kg

　　产品参数表：