T31压电扫描台，可以做成一至三个维度（X/Z/XY/XZ/XYZ），台体中心方形通孔，更方便应用于需要透光扫描的场合，内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构，具有良好的导向精度、高刚性、无磨损等特点，闭环平台配置高精度应变传感器进行全闭环反馈，实现满行程超高的重复定位精度。这款产品的应用非常广泛，从光学扫描研究、光学分析、样品检测、像素补偿到工业化OEM系统等都得到广泛应用。

　　该系列压电扫描台的通光孔为45×45mm。如果需要更大的孔径，请联系销售工程师进行定制即可；

　　产品特点：

　　最大位移110μm

　　最大承载0.7kg

　　中心通孔45×45mm

　　闭环重复定位精度

　　开/闭环可选

　　典型应用领域：

　　扫描显微

　　共焦显微

　　晶圆定位

　　表面测量图像处理与稳定

　　半导体测试

　　样品扫描分析定位

　　产品参数表：

实物参考图

　　T31系列产品尺寸图：