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T31压电扫描台

所属分类:压电扫描台
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  • 技术参数
  • 外形尺寸

  T31压电扫描台,可以做成一至三个维度(X/Z/XY/XZ/XYZ),台体中心方形通孔,更方便应用于需要透光扫描的场合,内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构,具有良好的导向精度、高刚性、无磨损等特点,闭环平台配置高精度应变传感器进行全闭环反馈,实现满行程超高的重复定位精度。这款产品的应用非常广泛,从光学扫描研究、光学分析、样品检测、像素补偿到工业化OEM系统等都得到广泛应用。

  该系列压电扫描台的通光孔为45×45mm。如果需要更大的孔径,请联系销售工程师进行定制即可;

  产品特点:

  最大位移110μm

  最大承载0.7kg

  中心通孔45×45mm

  闭环重复定位精度

  开/闭环可选

  典型应用领域:

  扫描显微

  共焦显微

  晶圆定位

  表面测量图像处理与稳定

  半导体测试

  样品扫描分析定位

  产品参数表:

参数表.jpg

1.jpg

实物参考图

  T31系列产品尺寸图:

T31系列产品尺寸图.jpg

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