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T62 系列压电物镜定位器

所属分类:压电扫描台
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  T62系列压电物镜定位器是为大负载物镜Z轴运动而设计的,它的负载可达500g,Z轴行程范围可达110μm,柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。它百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作。

  T62压电物镜定位器具有优异的导向精度及高动态特性,它在多光子显微、共聚焦显微、晶圆切割、聚焦定位应用比较广泛。可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头,镜头螺纹可更换,使用非常方便;

  典型应用领域:

  晶圆切割

  共焦显微

  干涉/计量

  自动聚焦系统

  半导体测试

  产品参数表:

参数表.jpg

1.jpg

实物参考图

  T62产品尺寸图:

T62产品尺寸图.jpg

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