T31压电扫描台,可以做成一至三个维度(X/Z/XY/XZ/XYZ),台体中心方形通孔,更方便应用于需要透光扫描的场合,内部采用无摩擦的柔性铰链导向机构,具有良好的导向精度、高刚性、无磨损等特点,闭环平台配置高精度应变传感器进行全闭环反馈,实现满行程超高的重复定位精度。这款产品的应用非常广泛,从光学扫描研究、光学分析、样品检测、像素补偿到工业化OEM系统等都得到广泛应用。
该系列压电扫描台的通光孔为45×45mm。如果需要更大的孔径,请联系销售工程师进行定制即可;
产品特点:
最大位移110μm
最大承载0.7kg
中心通孔45×45mm
闭环重复定位精度
开/闭环可选
典型应用领域:
扫描显微
共焦显微
晶圆定位
表面测量图像处理与稳定
半导体测试
样品扫描分析定位
产品参数表:
实物参考图
T31系列产品尺寸图: